photoelasticmodulation相关论文
为提高消光椭偏测量技术的测量精度,提出了一种基于光弹调制的消光椭偏测量技术。将光弹调制器和两块λ/4波片组合构成旋光调制器,......
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点，讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理，利用......
